记者｜张乔遇 半导体前道设备的国产化进程一直备受关注。截至2023年末，前道量检测设备的国内企业市场份额约为5%，在主要半导体前道设备里，仅高于光刻机的国产化程度。无锡卓海科技股份有限公司（简称：卓海科技）作为行业参与者，正试